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封裝: TRESKY全自動微組裝系統(tǒng); TRESKY半自動微組裝系統(tǒng); F&K Delvotec引線鍵合; F&S Bondtec引線鍵合機; AMADA平行縫焊,儲能焊機; REK真空共晶回流爐

檢測: DAGE焊接強度測試機; SONOSCAN 超聲掃描顯微鏡; YXLON X射線檢測系統(tǒng); CYBER三維表面測量系統(tǒng)

前道: MPCVD微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng); HHV科研用真空鍍膜系統(tǒng); Trion等離子沉積，刻蝕; THERMCO擴散,退火,LPCVD工藝爐; TEMESCAL精密電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)

金剛石/碳化硅: MPCVD微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)

產(chǎn)品資料

氣相沉積設備ATS500

簡介：

ATS500是一款靈活的電子束蒸發(fā)物**相沉積系統(tǒng)，適用于研發(fā)和生產(chǎn)。

產(chǎn)品詳情

ATS 500設計用于OLED、有機電子應用、光伏、半導體器件、透鏡和光學濾波器的研發(fā)和小批量生產(chǎn)。

系統(tǒng)特色是配有全彩觸摸屏的PLC，集成了工藝菜單控制和數(shù)據(jù)記錄功能，可以選配全電腦控制。

ATS 500提供廣泛的工藝選項，包括：

熱阻蒸發(fā)源。
溫度控制蒸發(fā)源，用于OLED和有機光伏應用。
電子束蒸發(fā)源，用于高速率蒸發(fā)。
離子束輔助，用于光學應用或者基板清洗。
DC、RF和脈沖DC源，用于金屬和電解質向上或者向下的濺射工藝。
以上兩

個或者多個功能的混合系統(tǒng)

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ATS500是一款靈活的電子束蒸發(fā)物**相沉積系統(tǒng)，適用于研發(fā)和生產(chǎn)。

ATS500是一款靈活的電子束蒸發(fā)物**相沉積系統(tǒng)，適用于研發(fā)和生產(chǎn)。