FC-3800和FC-4400是適用于潔凈室的、真空鎖結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)，專門面向lift-off工藝的大生產(chǎn)應(yīng)用。這些鍍膜機(jī)為連續(xù)高效的運行而設(shè)計，并提供高均勻性的薄膜沉積。FC-3800的源基間距為34”（965mm），而FC-4400的源基間距為42”（1067mm）。這兩款系統(tǒng)都可配置成獨立機(jī)臺或穿墻式潔凈室安裝，也都支持鍍膜源、材料進(jìn)給、加熱、清洗等附件的各種組合。